نانو لیتوگرافی یک اصطلاح گسترده برای توصیف فرآیند‌های مختلف برای ایجاد الگوهای مقیاس نانو در محیط‌های مختلف است که رایج‌ترین آن‌ها مواد نیمه رسانا سیلیکون است. هدف غالب نانولیتوگرافی کوچک شدن وسایل الکترونیکی است، که باعث می‌شود قطعات الکترونیکی بیشتری در فضاهای کوچکتر جمع شوند، یعنی مدارهای مجتمع کوچکتر که منجر به دستگاه‌های کوچکتر می‌شود، زیرا سریعتر و ارزانتر تولید می شوند زیرا مواد کمتری مورد نیاز است. این امر همچنین باعث افزایش عملکرد و زمان پاسخگویی می‌شود زیرا الکترون‌ها فقط باید مسافت‌های بسیار کوتاهی را طی کنند.

در بخشی از کتاب نانو لیتوگرافی الکترونیکی می‌خوانیم:

نانو لیتوگرافی یک عنوان گسترده برای توصیف فرآیند‌های مختلف برای ایجاد الگوهای مقیاس نانو در محیط‌های مختلف است که رایج‌ترین آن‌ها مواد نیمه رسانا سیلیکون است. هدف غالب نانولیتوگرافی کوچک شدن وسایل الکترونیکی است، که باعث می‌شود قطعات الکترونیکی بیشتری در فضاهای کوچکتر جمع شوند، یعنی مدارهای مجتمع کوچکتر که منجر به دستگاه‌های کوچکتر می‌شود، زیرا سریعتر و ارزانتر تولید می‌شوند زیرا مواد کمتری مورد نیاز است. این امر همچنین باعث افزایش عملکرد و زمان پاسخگویی می‌شود زیرا الکترون‌ها فقط باید مسافت‌های بسیار کوتاهی را طی کنند.